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白光干涉仪，芯片金属凸块及Bump Pattern 3D轮廓...

摘要在先进芯片封装与高密度互连制程不断迭代的背景下，芯片金属凸块及Bump Pattern图形化凸点结构日趋微小化、阵列化与精细化。金属凸块与Bump Patte...

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2026

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煤粉/灰渣输送阀密封面平面度的白光干涉测量研究

引言在煤化工、火力发电等工业领域，煤粉/灰渣输送阀是保障物料密闭输送的核心部件，其密封面平面度直接决定密封性能与设备运行稳定性。煤粉、灰渣等介质含硬质颗粒，对密封...

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白光干涉测量在军机液压 / 燃油阀平面度精密检测中的应用

引言军机液压/燃油阀是航空动力与操控系统的核心部件，其密封面平面度精度直接关系飞行安全与装备可靠性。军机服役环境严苛，高频振动、高低温交替及燃油杂质冲蚀，易造成密...

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白光干涉测量解析镜筒定位面平面度的像质影响机理

摘要镜筒定位面平面度偏差会顺利获得镜片装配偏差诱发光学系统像质劣化，明确其影响机理是提升光学系统性能的关键。白光干涉测量技术凭借非接触、纳米级精度优势，可精准表征定位...

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